На поверхні пластини мікрофлюїдні канали не залишають можливості для зміщення профілю фоторезисту. Навіть незначне зміщення при тепловій обробці призводить до зміни ширини ліній. При недостатньої температурі обробки утворюються залишки, які згодом можуть закупорити мікроканали. Потрібна лампа, яка буде враховувати температурні параметри як справжній процесний параметр, а не просто припущення.
Ось що є важливим у цьому процесі. Ми створили ці лампи для мікрофлюїдної обробки на основі світлодіодів SWIR у кварцовому корпусі. Це дає можливість отримувати швидку відповідь та стабільний спектральний вихід протягом усього часу роботи. Єдність параметрів на поверхні пластини зберігається на рівні ±0,1°C у всій зоні обробки, тож контроль критичних розмірів можливий під час кожної процедури обробки. Система призначена для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100 без утворення частинок, що забезпечується поточним контролем. Контроль відбувається за допомогою каліброваних термопар, а також існує бібліотека рецептів для різних процедур обробки.
Чому це важливо для мікрофлюїдної технології: процес літографії мусить витримувати багаторазові процедури вологої та сухої обробки без руйнування форми візерунка.
Наша лампа забезпечує точний температурний профіль, необхідний для фоторезисту – від видалення початкового розчинника до остаточного зв’язування компонентів. Це запобігає надмірному нагріванню чи недостатньому нагріванню, що може призвести до неповного висихання фоторезисту. У результаті зменшується кількість необхідних корекцій, підвищується стабільність продукції та можна планувати час виконання процедур. Енергоспоживання зменшується завдяки швидкому нагріванню та низьким втратам під час очікування, що знижує вартість обробки однієї пластини.
Є кілька деталей, які потрібно врахувати перед впровадженням цієї лампи. Її встановлення вимагає відповідності розмірів лампи до розмірів платформи для нагріву, а також перевірки сумісності контактів – зазвичай використовується напруга 24 В DC для підключення. Лампи SWIR сильно нагріваються, тож теплозахист та механізми безпеки є обов’язковими. Калібрування лампи потрібно проводити кожні 5 000 годин; протягом цього часу втрата потужності становить менше 5%, але оптика та сенсори все одно потребують періодичної перевірки для збереження єдності параметрів на рівні ±0,1°C.