На етапі літографії процес висушування полііміду визначає кінцеві розміри тонких металевих ліній. Зміна температури на рівні 5°C може призвести до зміни критичних розмірів на кілька нанометрів – цього достатньо, щоб порушити структуру ліній. Ми створили інфрачервоні лампи для висушування полііміду, які допомагають усунути ці варіації.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо короткого хвильового діапазону інфрачервоні випромінювачі, налаштовані на поглинання променів поліімідом. Теплова реакція відбувається швидко – менше ніж за секунду – а єдність температури на поверхні пластини підтримується в межах ±0,1°C. Корпус лампи придатний для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; він виготовлений з матеріалів, які мінімізують випаровування, а його конструкція не сприяє появі частинок, тож кількість дефектів залишається на низькому рівні.
Процеси пом’якшення та жорсткого висушування фоторезисту відбуваються з певною точністю, день за днем. Стабільність результатів залишається в межах 2% протягом понад 5,000 годин. Завдяки контролю з закритою петлею температурний режим також залишається стабільним.
Чому це ефективно на виробництві
На великовиробничих заводах процес висушування полііміду мусить відбуватися в строго контрольованих температурних умовах. Ці лампи швидко досягають заданої температури, скорочують час обробки та зменшують споживання енергії на 25–35% порівняно з конвективними методами. Це дозволяє отримувати результати швидше, без втрати контролю над параметрами процесу. Крім того, значно зменшується кількість проблем, пов’язаних з процесом висушування, що дозволяє уникнути необхідності повторної обробки.
Ця система може бути інтегрована у існуючі установки, зберігаючи логіку процесу та забезпечуючи високу точність температурного контролю.
Практичні деталі
Встановлення лампи полягає у її налаштуванні відповідно до геометрії пристрою для фіксації пластини та емісійності її зворотної поверхні. Якщо це зробити неправильно, можуть виникнути градієнти температури на краях пластини. Лампа також працює найкраще при використанні чистих, сухих підставок та контрольованого середовища з розчинниками.
Необхідно приділити трохи часу на налаштування потужності та часу обробки для конкретної формули полііміду. Після цього процес буде відбуватися в строго контрольованих умовах, але його можна буде повторювати.