Khi nung các tấm wafer trong khu vực làm sạch hóa học, thì bạn đang chơi với lửa vậy. Trong không khí có rất nhiều hơi gas dễ cháy và các chất ăn mòn. Chỉ cần một chiếc đèn IR bị hỏng hoặc có chút bức xạ tràn ra gần các chất lỏng dễ cháy, thì nguy cơ xảy ra hỏa hoạn là rất cao. Đó quả là một tình huống kinh hoàng.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách chú trọng vào hai yếu tố: cách đóng kín các đèn và khoảng cách cần thiết để đảm bảo an toàn.
Việc cân bằng nhiệt độ cũng rất quan trọng. Việc xác định đúng khoảng cách cần thiết thật sự rất khó khăn. Bạn không thể chỉ đoán mò được. Nếu đèn quá gần, các tấm wafer sẽ bị cháy, hoặc tồi tệ hơn, các hơi gas sẽ bốc cháy. Nhưng nếu đèn quá xa thì thời gian khởi động sẽ kéo dài, và hiệu suất sản xuất sẽ giảm sút.
Chúng tôi xem xét công suất của đèn và điểm bốc cháy của hóa chất để tìm ra mức nhiệt độ phù hợp. Mục tiêu là đảm bảo rằng năng lượng chiếu vào bề mặt vật liệu vẫn ở mức thấp hơn mức có thể gây ra hỏa hoạn.
Ngăn chặn sự phá hoại
Các ống thủy tinh thông thường không thể sử dụng trong môi trường này. Môi trường này quá khắc nghiệt. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng các vỏ bọc kín, chống hóa chất. Tại sao ư? Bởi vì đó chính là nơi mà các hơi gas hóa học có thể phá hủy các điện cực, dẫn đến tình trạng mất điện. Chúng tôi giữ “khu vực nóng” trong tình trạng kiểm soát, và sử dụng các vật liệu không thể giải phóng khí hoặc bị phá hủy khi tiếp xúc với các chất làm sạch.
Những sự đánh đổi
Vấn đề là: các nhà máy chế tạo linh kiện bán dẫn cần tốc độ cao, vì vậy các đèn IR công suất cao là lựa chọn tốt nhất. Nhưng năng lượng cao đó lại mang theo nguy cơ. Công suất càng cao, thì khoảng cách an toàn cần thiết càng lớn để tránh việc hóa chất bị quá nhiệt.
Nếu diện tích không đủ, bạn không thể lắp đặt đèn công suất cao vào đó. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng nhiều đèn công suất thấp hơn. Điều này giúp phân bổ nhiệt độ trên bề mặt và giữ mọi thứ trong vùng an toàn.
Và để đảm bảo an toàn tuyệt đối, chúng tôi lắp đặt hệ thống ngắt nhiệt tự động. Nếu hệ thống làm mát ngừng hoạt động, nguồn điện sẽ được ngắt ngay lập tức. Không còn nguy cơ hỏa hoạn nữa.