Đừng để các bộ phận gia nhiệt phá hủy các tấm wafer của bạn nữa!
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, chắc hẳn bạn đã biết rõ những khó khăn mà nó mang lại. Chỉ cần một hạt vi mô dính vào tấm wafer thôi, hiệu suất sản xuất của bạn sẽ giảm sút ngay lập tức.
Nguyên nhân thường là do các bộ phận gia nhiệt. Hầu hết các bóng đèn thông thường sẽ giải phóng khí hoặc các hạt nhỏ ra ngay khi chúng cần phải hoạt động trong môi trường sạch nhất. Chúng tôi quyết định giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao cho các bóng đèn IR của mình.
Tại sao thạch anh lại quan trọng?
Chúng tôi sử dụng silica kết dính với hàm lượng tạp chất gần như bằng không. Tại sao ư? Bởi vì điều này giúp ngăn không cho bóng đèn giải phóng các ion kim loại hoặc các hạt nhỏ ra khi nóng lên. Bạn có thể coi lớp vỏ bọc bằng thạch anh như một lớp kín khít bảo vệ sợi wolfram bên trong. Chúng tôi cũng loại bỏ các chất keo hữu cơ và vật liệu gốm rẻ tiền thường được sử dụng trong các bóng đèn thông thường. Nhờ vậy, khi bật bóng đèn trong môi trường chân không, bạn sẽ không gặp phải tình trạng khó chịu do khói hay khí được giải phóng ra. Nó hoạt động rất hiệu quả.
Gia nhiệt ở chỗ cần thiết
Trong các thiết bị xử lý wafer, bạn cần tăng nhiệt độ nhanh chóng và duy trì nhiệt độ ổn định trên toàn bộ bề mặt wafer. Các bóng đèn IR của chúng tôi giúp truyền năng lượng vào phổ sóng ngắn. Thay vì lãng phí thời gian để làm nóng không khí xung quanh wafer, nhiệt lượng sẽ được truyền trực tiếp vào chất nền silicon. Điều này giúp việc kiểm soát nhiệt độ trở nên dễ dàng hơn nhiều.
Những điều cần lưu ý và cách xử lý
Điều tốt là những bóng đèn này có thể thay thế ngay lập tức mà không cần phải chỉnh sửa bất kỳ bộ phận nào trong hệ thống. Nhưng điểm cần lưu ý là những bóng đèn này tạo ra mức nhiệt độ rất cao. Điều này gây áp lực lớn lên hệ thống tản nhiệt. Nếu hệ thống làm mát không đủ mạnh để xử lý mức công suất cao này, vỏ bọc của bóng đèn sẽ bị quá nóng. Khi đó, sợi wolfram bên trong sẽ bị cháy sớm hơn dự kiến.
Một vài mẹo nhỏ để đảm bảo hệ thống hoạt động tốt:
Hãy kiểm tra độ chính xác của gương phản chiếu mỗi 500 giờ. Ngay cả một sự thay đổi nhỏ về góc phản chiếu cũng có thể tạo ra những điểm nóng, và điều này sẽ làm hỏng toàn bộ lô sản phẩm. Ngoài ra, khi vệ sinh thạch anh, hãy sử dụng rượu isopropyl chất lượng cao dành cho mục đích điện tử. Bất kỳ chất dung môi nào khác đều có thể để lại dấu vết trên bề mặt thạch anh, và khi đó bạn sẽ phải bắt đầu lại từ đầu.