半导体洁净室推车式加热器

如何让晶圆获得更多热量（同时不浪费能源） 在洁净室中，当用传送车来加热晶圆时，每一分能量都十分宝贵。最令人头疼的问题就是：那些热量竟然白白流失了。通常情况下，红外线能量根本无法到达晶圆上，而是被传送车的外壳吸收掉了。 这就是为什么我们使用黄金的原因。 为什么选择黄金？ 虽然铝是常用的材料，但它并不...