停止为设备外壳加热吧（把热量集中在晶圆上吧） 你是否曾经触摸过生产设备的表面，感觉到其散发的热量？这不仅令人不便，还存在安全隐患。说实话，这种做法其实是一种浪费。 大多数普通的加热元件会将热量四处散发，使得设备的内壁变成巨大的散热器。实际上，你是在为加热机器的框架付费，而不是为加热真正需要加热的部...

在晶圆制造过程中，如果让光阻的烘干温度偏差达到2摄氏度，那么光刻工艺就会出现问题。在温和烘干阶段，温度不均匀会导致线宽出现变化；而在剧烈烘干阶段，则会产生杂质，进而影响光阻与基板的附着力。最终的结果就是晶圆报废，以及生产线的非计划性停机，而这一切都是因为试图实现温度的稳定控制所导致的。 从技术层面...