ウェーハ加熱時の安全距離

化学的な洗浄を行う際にウェーハを加熱するというのは、まるで火遊びのようなものです。空気中には可燃性の蒸気や腐食性の物質が漂っています。IRランプが故障したり、放射線が揮発性溶剤の近くに漏れ出したりすれば、即座に火災が発生します。これは本当に恐ろしい状況です。 私たちは、2つの点に徹底的に注意を払っ...