클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 청정실을 운영하고 있다면, 가스가 발생하는 문제가 얼마나 심각한지 잘 알고 있을 것입니다. 히팅 요소에서 조금이라도 미세한 입자들이 나오면 반도체 웨이퍼가 망가집니다. 정말 성가신 일입니다. 일반적인 적외선 램프들은 이런 문제를 해결할 수 없습니다. 열에 의해 손상되어 미세한 입자들을 내보내기 때문입니다.
우리는 이 문제를 해결할 방법을 찾아냈습니다. 고순도의 합성 석영과 금으로 만든 반사 코팅을 사용하는 것입니다. 간단하지만 효과적입니다.
왜 금을 사용할까요?
그건 보기 좋아서가 아닙니다. 석영 표면에 얇은 금 층을 입히는 이유는 금이 적외선을 매우 잘 반사하기 때문입니다. 정확히 말하면 98%나 되는 적외선을 반사합니다.
열이 사방으로 낭비되는 대신, 모든 열이 목표 지점으로 집중됩니다. 그렇게 하면 에너지를 낭비하지 않으며, HVAC 시스템도 과도하게 작동할 필요가 없습니다. 게다가, 워트 수치를 높일 필요도 없이 원하는 온도에 빠르게 도달할 수 있습니다.
미세 입자와 유리
우리는 고순도 석영을 사용합니다. 저가형 유리는 쉽게 손상되지만, 석영은 그런 문제가 없습니다. 전원을 켜고 끄는 과정에서도 석영이 깨지지 않습니다.
금 코팅의 경우, 진공 증착 공정을 통해 석영에 고정시킵니다. 이렇게 하면 코팅이 벗겨져도 실리콘 위에 입자가 생기는 것을 막을 수 있습니다. 이 공정 덕분에 금 코팅이 제자리에 남아 있습니다.
사용 방법
이 램프들은 기존의 경화 및 건조 장비를 대체할 수 있습니다. 현재 사용 중인 컨트롤러에 직접 연결하면 됩니다.
단, 주의해야 할 점이 있습니다. 금 코팅이 거의 모든 에너지를 앞쪽으로 보내기 때문에, 램프의 앞부분이 일반 램프보다 훨씬 더 뜨거워집니다. 따라서 보호 장치와 냉각 팬이 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 열이 너무 강해져 주변의 센서가 손상될 수 있습니다.