공장 내 이산화탄소 배출 감소: 왜 UHP 적외선 램프가 효과적인가?
솔직히 말해서, 반제품 단계에서 탄소 중립 목표를 달성하는 것은 정말 어려운 일입니다. 가장 큰 문제는 가열 과정에서 발생합니다. 만약 여전히 기존의 저항식 오븐을 사용한다면, 작은 웨이퍼를 따뜻하게 하기 위해 온실 전체를 가열해야 합니다. 이는 엄청난 에너지 낭비입니다.
바로 여기서 우리의 초고순도(UHP) 적외선 램프가 유용해집니다. 이 램프들은 주변의 모든 것을 가열하는 대신, 열을 정확히 웨이퍼가 있는 곳으로만 집중시킵니다. 그래서 하드웨어와 싸우는 대신 제품 자체에 집중할 수 있습니다.
UHP 적외선 램프의 작동 원리
“초고순도”라는 말은 단순한 화려한 표현이 아닙니다. 금속 이온이 공정에 침투하는 것을 막기 위해 합성 석영을 사용합니다. 반도체 산업에서는 단 하나의 이온만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 그러므로 이는 절대 용납될 수 없습니다.
우리는 단파 적외선을 사용합니다. 왜냐하면 단파 적외선은 장파 적외선보다 훨씬 빠르게 기판을 가열할 수 있기 때문입니다. 몇 분이 아니라, 단 몇 초 만에 원하는 온도에 도달할 수 있습니다.
하지만 한 가지 문제가 있습니다. 작은 공간 안에서 그런 높은 온도를 얻으려면, 얇은 석영 커버를 통해 많은 전력이 흘러야 합니다. 이로 인해 램프의 끝부분에 엄청난 압력이 가해집니다. 냉각 공기 조절이 제대로 되지 않으면 필라멘트가 너무 빨리 손상될 수 있습니다. 이는 매우 섬세한 균형이 필요합니다.
공장에서의 활용 방법
우리는 고객들이 업그레이드를 위해 기존의 설비를 모두 바꿔야 하는 상황을 원하지 않습니다. 이 램프들은 그냥 기존 장비를 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 표준 연결부를 사용하기 때문에, 주말 동안 전체 장비를 다시 연결할 필요가 없습니다.
진짜 장점은 에너지 비용을 줄일 수 있다는 점입니다. 대류식 가열 대신 목표 지점에만 열을 가함으로써, 불필요한 에너지 소비를 줄일 수 있습니다.
친환경적인 방식은 단순히 전기가 어디서 오는지가 아니라, 이미 가지고 있는 에너지를 낭비하지 않는 것입니다. 적외선 램프를 사용하면 웨이퍼의 특정 부분만 가열할 수 있으므로, 오븐 전체를 최대 성능으로 가동할 필요가 없습니다. 이를 통해 웨이퍼당 소모되는 에너지량을 줄일 수 있고, 이는 생산 과정에서의 탄소 배출을 줄이는 가장 빠른 방법입니다.