为何在红外干燥系统中使用镀金反射器
在晶圆制造过程中，浪费电能就相当于浪费金钱。使用数字式红外干燥机时，关键不仅在于提高温度，还在于确保热量能够准确作用于晶圆上，而不是被机器的框架吸收掉。
这时，镀金反射器就派上用场了。
其原理其实很简单。
大多数人最初会选用铝制反射器，但这类材料会吸收过多的红外能量。而黄金则不同——它可以像镜子一样反射红外线，将热量重新反射回目标物体上。这样一来，就不需要增加功率就能让晶圆获得足够的热量，从而提高效率。
另外，精度也是一个重要问题。即便拥有最先进的数字控制器来精确控制功率，但如果反射器的质量不佳，热量分布仍然会不均匀。镀金反射器则能有效消除这些“冷点”，让整个晶圆表面的温度更加均匀。没有这样的设计，干燥效果就会很差，甚至还会导致晶圆变形。
当然，这并不是什么神奇的解决方案。
虽然黄金的效果很好，但它需要精心维护。它很容易受到污染的影响。如果真空腔内存在有机物质或化学残留物，那么黄金层就会开始退化。因此，必须严格遵循清洁流程，才能保持反射器的最佳性能。
最后一点需要注意的是：当这些反射器与精准的控制器结合使用时，系统的加热时间会大大缩短。这样，每个循环所消耗的能量也会减少，这无疑是个优点。
不过，还要注意冷却风扇的问题。由于集中了如此高的辐射强度，周围的设备可能会过热。如果不及时通风，传感器就有可能被烧毁。