
在2.5D/3D IC封装过程中,根本没有任何空间可以用来应对温度波动的问题。在填充材料固化、TIM芯片粘接或微凸点熔化过程中,哪怕出现一个热点,都可能毁掉经过数月努力才获得的良好封装效果。因此,我们设计了专用的2.5D/3D IC封装加热器,以此来消除这些不确定因素。
关键在于:
该加热器能够确保芯片工作区域的温度均匀性达到±0.1°C,并且能够在长时间运行中保持稳定的温度。短波红外元件能实现快速且精确的温度控制,而石英隔离式加热结构则有助于减少颗粒的产生。该加热器适用于1级到100级的洁净室环境,其表面和密封设计能够有效降低颗粒浓度。控制系统为闭环控制,可精确调节温度,同时还能满足光刻胶软烘和硬烘工艺的需求,以及各种复杂的封装工艺要求。
为何它能在生产中表现出色:
由于整个芯片上的温度分布均匀,且不同设备之间的温度也保持一致,因此产品的一致性更高,缺陷更少,生产周期也更加可预测。该加热器能够迅速达到设定温度并保持稳定,从而降低能耗。其可靠性得益于24/7不间断运行能力,相关组件均能承受持续的高温负荷。维护工作也可以按照计划进行,避免意外停机。
关于集成方面的注意事项:
虽然该加热器很容易安装,但它需要独立的电源供应以及完善的冷却/气体供应系统。如果接口不匹配或管线尺寸不足,就会影响其性能。因此,需要在前期就规划好机械结构——与周围设备的间距必须足够,同时空气流动也要顺畅,这样才能保证温度的均匀性。一旦一切就绪,该系统就能像一个固定的参数一样运作,不会再成为需要控制的变量。