왜 IR 건조에 금 코팅된 반사체를 사용하는가?
웨이퍼 제조 공정에서 에너지를 낭비하는 것은 곧 돈을 낭비하는 것과 같습니다. 디지털형 적외선 건조기를 사용할 때 중요한 것은 단순히 열을 높이는 것이 아니라, 그 열이 기계의 하우징에 흡수되지 않고 웨이퍼에 정확하게 전달되도록 하는 것입니다.
바로 이때 금 코팅된 반사체가 유용하게 작용합니다.
원리는 아주 간단합니다.
대부분의 사람들은 알루미늄으로 만든 반사체를 사용하지만, 이 경우 적외선 에너지가 너무 많이 흡수됩니다. 반면 금은 거울처럼 적외선을 반사하여 열을 다시 웨이퍼 쪽으로 보내줍니다.
그래서 전력 소비를 높이지 않고도 웨이퍼에 더 많은 열을 전달할 수 있습니다. 이는 매우 효율적인 방법입니다.
또한 정밀도도 중요합니다. 아무리 최고급의 디지털 컨트롤러를 사용한다 해도, 만약 코팅의 질이 나쁘다면 열이 고르게 전달되지 않습니다.
금 코팅된 반사체는 이러한 문제를 해결해줍니다. 그 결과 웨이퍼의 전체 표면에 균일한 온도 분포가 형성됩니다. 이러한 정밀한 제어가 없다면 웨이퍼가 고르게 건조되지 않거나, 심한 경우 열로 인해 변형될 수도 있습니다.
물론, 이건 마법은 아닙니다.
금은 훌륭하지만, 관리가 조금 까다롭습니다. 금은 오염을 싫어합니다. 진공 챔버 내에 유기물이나 화학 잔여물이 있다면 금 코팅이 손상될 수 있습니다. 반사율을 유지하기 위해서는 철저한 청소가 필요합니다.
마지막으로, 이러한 반사체를 정밀한 컨트롤러와 함께 사용하면 가열 시간이 크게 줄어듭니다. 한 번의 작동당 소비되는 에너지도 줄어들기 때문에 이는 큰 장점입니다.
하지만 냉각 팬에도 주의해야 합니다. 고밀도의 열이 방출되므로 주변 부품들이 과열될 수 있습니다. 공기를 제대로 순환시키지 않으면 센서가 손상될 수도 있습니다.