웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

화학적 세척 구역에서 웨이퍼를 가열할 때는 마치 불장난을 하는 것과 같습니다. 공기 중에는 인화성 기체와 부식성 물질들이 존재합니다. IR 램프가 고장나거나, 방사선이 휘발성 용매 근처로 새어 나오면 즉시 화재가 발생할 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 우리는...