停止为设备外壳加热吧（把热量集中在晶圆上吧）
你是否曾经触摸过生产设备的表面，感觉到其散发的热量？这不仅令人不便，还存在安全隐患。说实话，这种做法其实是一种浪费。
大多数普通的加热元件会将热量四处散发，使得设备的内壁变成巨大的散热器。实际上，你是在为加热机器的框架付费，而不是为加热真正需要加热的部分付出代价。
我们通过使用定向红外灯来解决这个问题。
其工作原理
可以把它想象成手电筒，而不是普通灯泡。这些灯通过反射器将集中的热能直接照射到晶圆或基板上。这样，热量只会作用于目标物体，而不会扩散到其他地方。这样一来，你就能在需要的地方获得精确的温度控制，而机器的其他部分则保持凉爽状态。再也不用担心“表面过热”的警告了。
技术上的挑战
不过，不能简单地用红外灯替换传统的电阻式加热器。因为红外灯的聚焦能力很强，所以如果处理不当，就可能导致基板过热。此外，还需要调整PID控制器，因为红外灯的反应速度非常快。如果控制器无法适应这样的速度，那么系统可能还没来得及做出反应，温度就已经超过了设定值。
更理想的洁净室环境
最棒的是，你的HVAC系统也会因此受益。因为不再有废热散放到空气中，所以洁净室的冷却负担也会减轻。此外，你还可以不用再使用那些笨重的隔热材料以及嘈杂的冷却风扇了。没有了振动，也不必担心风扇会扬起灰尘。整体上，环境会更加干净、紧凑。
**一个小贴士：**一定要保持反射器的清洁。一旦镜子上沾上一点灰尘，就会降低加热效率，导致热量再次散回到设备内部。只要保持反射器清洁，一切都会保持凉爽状态。