جلوگیری از تخریب لامپها و کاهش بازده تولید
اگر تا به حال در یک کارخانه نیمههادی با بار کاری بالا بودهاید، میدانید که چه اتفاقاتی میافتد. لوله کوارتزی میشکند؛ این واقعاً یک فاجعه است.
مسئله فقط از دست رفتن گرما نیست؛ مشکل اصلی، آشفتگی ناشی از ترکشهای شیشهای و مواد شیمیایی است که روی ویفرها میافتند. با یک شکست کوچک، بازده تولید کاهشیافته میشود.
به همین دلیل، ما بازتابندهها را صرفاً به عنوان «آینه» در نظر نمیگیریم؛ بلکه آنها را به عنوان خط دفاعی اول در نظر میگیریم.
نگه داشتن آشفتگیها درون بدنه
بیشتر مردم فکر میکنند که بازتابندهها فقط برای بازتاب امواج مادون قرمز به سمت ویفرها وجود دارند؛ البته این کار را انجام میدهند. اما ما بدنه بازتابندهها را نیز به عنوان سپر در نظر میگیریم.
ما زمان زیادی را صرف تنظیم فاصله بین بدنه کوارتزی و دیواره بازتابنده میکنیم؛ چرا؟ چون اگر لوله شکسته شود، میخواهیم که آشفتگیها درون بدنه باقی بمانند و روی ویفرها نریزند.
مقابله با گرما
فرآیندهای حرارتی با توان بالا بسیار دشوار هستند. برای مقابله با این مشکل، از پوششهای طلا یا آلومینیوم با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود امواج مادون قرمز در جای خود باقی بمانند و بدنه از جذب گرمای زیاد جلوگیری شود.
اما مشکل اینجاست که اگر بازتابنده بیش از حد گرم شود، فشار زیادی بر روی انتهای لامپ وارد میشود؛ این امر منجر به خرابی لامپ میشود. ما با تنظیم میزان بازتاب نور و راههای مناسب برای تخلیه گرما، دمای لوله را تحت کنترل نگه میداریم؛ این کار باعث میشود لامپها مدت زمان بیشتری کار کنند.
مشکلات مربوط به جریان هوا
برای خنک کردن لامپها، به هوا نیاز داریم؛ اما نمیتوانیم کل سیستم را کاملاً باز بگذاریم؛ در غیر این صورت، خطرات ناشی از آلودگی دوباره پیش میآید.
ما این مشکل را با طراحی مناسبی حل کردهایم؛ این طراحی اجازه میدهد هوای خنک از بین لامپها عبور کند، اما در عین حال به عنوان دیواری بین لامپ و ویفرها عمل کند.
یک نکته مهم: باید فنهای تهویه را به درستی تنظیم کنید؛ اگر هوا در جای خود باقی بماند، بدنه گرما را در خود نگه میدارد و لامپها سریعتر از حد معمول خراب میشوند.
ما این دستگاهها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند در شرایط تولید ۲۴/۷ کار کنند؛ با قرار دادن سپرهای ایمنی درون بازتابندهها، خرابی یک لامپ مشکل کوچکی محسوب میشود، نه دلیلی برای توقف کل خط تولید.