なぜIR乾燥に金コーティングされた反射器を使用するのか？ ウェハー製造において、エネルギーを無駄にすることは、つまりお金を無駄にしていることに他なりません。デジタル型の赤外線乾燥機を使う際、重要なのは単に熱を高めるだけではありません。重要なのは、熱が実際にウェハーに当たり、装置のケースに吸収されないようにすることです。 そこで役立つのが金コーティングされた反射器です。 その仕組みは非常にシンプルです。 多くの場合、アルミニウム製の反射器が使われますが、これらは赤外線エネルギーを過剰に吸収してしまいます。一方、金は鏡のように赤外線を反射し、熱を再び対象物に戻します。 つまり、出力を上げずとも、ウェハーにより多くの熱を与えることができるのです。効率的です。 また、精度の問題もあります。たとえ最も高性能なデジタルコントローラーを使って出力を調整できたとしても、コーティングの品質が悪ければ、熱の分布が不均一になってしまいます。 金コーティングされた反射器を使えば、このような「冷たい部分」を解消できます。ウェハー全体に均一な温度分布が得られます。このような集中した加熱がなければ、乾燥が不均一になったり、ひどい場合はウェハーが変形してしまいます。 もちろん、これは魔法ではありません。 金は優れていますが、メンテナンスが必要です。汚染を嫌います。もし真空チャンバー内に有機物や化学物質の残留物があれば、金の層が劣化してしまいます。反射率を維持するためには、徹底的な清掃が必要です。 最後に、これらの反射器を精密なコントローラーと組み合わせると、起動時間が大幅に短縮されます。1サイクルあたりのエネルギー消費量も減少するので、これは大きな利点です。 しかし、冷却ファンには注意が必要です。高密度の放射熱が集中するため、周囲の部品が過熱してしまう可能性があります。適切に空気を循環させないと、センサーがダメになってしまいます。